微小角自動接触角測定装置 CANDID
概要
本装置は、微小液滴を狙った位置に吐出し、着滴した瞬間の液滴画像を撮影し接触角、体積を経時的に測定できます。
CANDID800シリーズは、8インチウエハの搬送ロボットを装備し、自動で搬送→液滴→測定が可能です。また、搬送系は、ウエハだけでなく、お客様のワーク（ガラス、フィルム、他）に合わせて製作可能です。
特徴
1. 8インチウエハ自動搬送
2. 真上と真横カメラでの高速撮影
3. 独自のアルゴリズムにより90度以上接触角が測定可能
4. 高精度位置決めにより着滴精度±13μm達成
5. 境界自動検出機能により製造ラインへの導入が可能
仕様
1. 液下液種 ： H2O、インク
2. 測定モード ： 後退 液滴下後経時変化
3. 接触角法 ： 1/2Φ法 接線法
4. 液滴再現性 ： H2O ±3μm（ワークディスタンス2mm）
5. 搬送系 ： 8インチクリーンロボット
6. ステージ位置決め精度 ： ±10μm以内
7. ソフトウエア ： 自動接触角測定（90°以上も測定可能）
液滴体積計算
被測定物アライメント機能
境界面自動検出機能
CSV、画像データ保存可能
8. 装置サイズ ： サイズ W1650×D1650×H2100mm
（キーボード部、パトライト部含まず）
重量 約800kg
用途（アプリケーション）
1. インクジェットプリンタ
2. 細胞、タンパク、抗体、DNA
3. 各種電子デバイス
