微小角自動接触角測定装置 CANDID

概要

　本装置は、微小液滴を狙った位置に吐出し、着滴した瞬間の液滴画像を撮影し接触角、体積を経時的に測定できます。

　CANDID800シリーズは、8インチウエハの搬送ロボットを装備し、自動で搬送→液滴→測定が可能です。また、搬送系は、ウエハだけでなく、お客様のワーク（ガラス、フィルム、他）に合わせて製作可能です。

1.　8インチウエハ自動搬送

2.　真上と真横カメラでの高速撮影

3.　独自のアルゴリズムにより90度以上接触角が測定可能

4.　高精度位置決めにより着滴精度±13μm達成

5.　境界自動検出機能により製造ラインへの導入が可能

1.　液下液種　：　H2O、インク

2.　測定モード　：　後退　液滴下後経時変化

3.　接触角法　：　1/2Φ法　接線法

4.　液滴再現性　：　H2O　±3μm（ワークディスタンス2mm）

5.　搬送系　：　8インチクリーンロボット

6.　ステージ位置決め精度　：　±10μm以内

7.　ソフトウエア　：　自動接触角測定（90°以上も測定可能）　

　　　　　　　　　　　液滴体積計算　　　　　　　　　　　　　　

　　　　　　　　　　　被測定物アライメント機能

　　　　　　　　　　　境界面自動検出機能

　　　　　　　　　　　CSV、画像データ保存可能

8.　装置サイズ　：　サイズ　W1650×D1650×H2100mm

　　　　　　　　　（キーボード部、パトライト部含まず）

　　　　　　　　　　重量　約800kg

1.　インクジェットプリンタ

2.　細胞、タンパク、抗体、DNA

3.　各種電子デバイス

インクジェットヘッド部